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【シリコンウェーハ再生加工事業】
先進設備と高水準の化学・研磨・洗浄技術で高品質の再生ウェーハを提供。独自の研磨技術でウェーハの再生回数を増やし、コストダウンに貢献します。また、金属不純物の除去に強く、新品のシリコンウェーハと同等の清浄度まで再生が可能。
【プライムウェーハ製造販売】
子会社の山東有研半導体材料有限公司で、125mm、150mm、200mmのプライムシリコンウェーハおよびシリコン製の、半導体製造装置用の消耗部材を製造・販売。2020年に中国山東省徳州市政府とパートナー企業との間で新たな合弁会社(SGRS)を設立し、12インチプライムウェーハ量産化の研究開発を開始しています。
【半導体製造装置向け消耗部材製造販売】
子会社の株式会社DG Technologiesにて、半導体製造装置向けの石英ガラスや単結晶・多結晶シリコン製品を中心に、製造・販売しています。